“林首席，一号光掩膜版已清洗完成！”

　　“二号光掩膜版也清洗完成！”

　　“报告林首席，经过反复确认，第一组光掩膜版表面未发现有灰尘遮挡，可以进行试生产了！”

　　“林首席，20纳米制程光刻机...　
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